| ขนาดพื้นที่ทํางาน (กว้าง * ความสูง mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| ความว่างสุด (Pa) | 1*10- 41*10-3 | 1*10- 41*10-3 | 1*10- 41*10-3 |
| อุณหภูมิสูงสุด (°C) | 2400 2500 | 2400 2500 | 2400 2500 |
| ความเหมือนกันของอุณหภูมิ (°C) | ±75 | ±75 | ± 7.5 ± 10 |
| อัตราการเพิ่มความดัน (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
