| ขนาดพื้นที่ทำงาน (D*H mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| สุดยอดสุญญากาศ (Pa) | 1*10-4/1*10-3 | 1*10-4/1*10-3 | 1*10-4/1*10-3 |
| อุณหภูมิสูงสุด (℃) | 2400 / 2500 | 2400 / 2500 | 2400 / 2500 |
| ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิ (℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±10 |
| อัตราการเพิ่มขึ้นของความดัน (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
