| ขนาดพื้นที่ทํางาน (D*H mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| อุณหภูมิสุด (Pa) | 1*10- 4 1*10-3 |
1*10- 4 1*10-3 |
1*10- 4 1*10-3 |
| อุณหภูมิสูงสุด (°C) | 2400 2500 |
2400 2500 |
2400 2500 |
| อุณหภูมิแบบเดียวกัน (°C) | ±75 | ±75 | ± 10 |
| อัตราการเพิ่มความดัน (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |